TeraView EOTPR 4000
EOTPR 4000 光電太赫茲脈衝反射儀
EOTPR 4000系統配置有自動探針台，能夠以 +/- 5 μm 的精度放置探針尖端，同時保持 EOTPR 世界領先的亞 5 μm 故障隔離精度。
這種組合使用戶能夠直接探測 TSV 尖端和銅柱。
特色
• 預掃描站用於繪製接觸點位置和高度。
• 每個引腳的資料採集時間小於5秒。
• 用於驅動自動探針站和預掃描站的軟體。
• 探測時可同時使用手動模式和自動模式。
• 用於管理資料顯示和食譜建立的使用者介面軟體。
• 探針尖端放置位置。
